Laboratorio Central
ELIPSOMETRIA ESPECTROSCOPICA
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La elipsometría es una técnica óptica usada para determinar parámetros de la muestra analizada. Se utilizan modelos
matemáticos para determinar tales parámetros, ajustando los valores dentro de los. En este laboratorio se pueden determinar propiedades
tales como función dieléctrica e índice de refracción complejos, rugosidad y espesor de películas delgadas (capas
y multicapas) de diversos materiales en un amplio intervalo de energía. El equipo de elepsometría del IFUAP es un equipo de la marca Horiba,
modelo UVISEL, que mide materiales traslúcidos desde 1 Å hasta 20 µm, con un rango espectral de (0.6-4.8 eV). El sistema permite
realizar medidas a diversos ángulos de incidencia.
