¿QUÉ SON?

Los sensores microelectrónicos son dispositivos miniaturizados que combinan tecnologías de microelectrónica y sensores para detectar cambios físicos, químicos o biológicos en el entorno y convertirlos en señales eléctricas procesables. Se diseñan utilizando circuitos integrados y materiales semiconductores, como el silicio, y son fundamentales en aplicaciones modernas debido a su pequeño tamaño, alta precisión y eficiencia.

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TESIS CONCLUIDAS

Abel Garzón Román (National Institute for Astrophysics, Optics and Electronics)

Tesis de Doctorado

Synthesis, characterization and application of porous silicon decorated with TiO2 in electronic devices and sensors

María de Los Ángeles de la Cruz García (Centro de Investigaciones en Dispositivos Semiconductores, BUAP)

Tesis de Maestría

Depósito conformal de Óxido de silicio sobre pilares de Si por medio de TEOS-LPCVD

 

Iris Hölken (Institute for Materials Science, University of Kiel)

Tesis de Maestría

Si-rich oxide by plasma enhanced chemical vapor deposition