DISPOSITIVOS
MICROELECTRÓNICOS

¿QUÉ SON?
Los sensores microelectrónicos son dispositivos miniaturizados que combinan tecnologías de microelectrónica y sensores para detectar cambios físicos, químicos o biológicos en el entorno y convertirlos en señales eléctricas procesables. Se diseñan utilizando circuitos integrados y materiales semiconductores, como el silicio, y son fundamentales en aplicaciones modernas debido a su pequeño tamaño, alta precisión y eficiencia.

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TESIS CONCLUIDAS
Abel Garzón Román (National Institute for Astrophysics, Optics and Electronics)
Tesis de Doctorado
Synthesis, characterization and application of porous silicon decorated with TiO2 in electronic devices and sensors
María de Los Ángeles de la Cruz García (Centro de Investigaciones en Dispositivos Semiconductores, BUAP)
Tesis de Maestría
Depósito conformal de Óxido de silicio sobre pilares de Si por medio de TEOS-LPCVD
Iris Hölken (Institute for Materials Science, University of Kiel)
Tesis de Maestría
Si-rich oxide by plasma enhanced chemical vapor deposition